SMU = source measure unit. Dat is een 4 quadrant voeding, dus voeding en load. De opvolger van de curvetracer (alleen heb je er 2 nodig als je ook 3 poters wilt testen.) De mijne is van TTi en kan tot 200V. Hij meet en sourced met 6,5 digits. Als dat niet genoeg resolutie is dan kun je er een stroommeter/shunt tussen hangen en de sense draden van de SMU na de shunt aansluiten. Op die manier heb je geen last van een "burden voltage"
Mijn K7510 heeft in de pA/nA range een max burden voltage van 15mV. Hoe kleiner de stroom, hoe lager die spanning. Daar heb je dus geen voeding met sense voor nodig. Dat geldt ook voor andere meters. Als dat bij volle schaal bv 100mV is, en volle schaal is 100mA is dan is het bij een schakeling die 1mA trekt maar 1 mV. Het tempco van die batterij zal hoger dan dat zijn.
Het moeilijke is de meting zelf. Met een dmm lijkt dat makkelijk door allerlei truukjes, maar doordat die dingen zo traag zijn zie je die effecten gewoon niet en lijkt de meting stabiel.
Maar in het pA en nA bereik zijn de stroompjes zo laag dat zelfs 50Hz instraling al een groter signaal dan dat stroompje veroorzaakt. Ik heb wel eens zitten spelen met metingen in het pA bereik. Dat was ivm een weerstand meting met een analoge "smu" die tot 5 pΩ kan meten (en dat doet door pA te meten bij 1000V) De meter ging met een trage frequentie op en neer. Het duurde even tot ik er achter kwam dat dat het effect was van mijn buik/borst die op en neer ging bij ademhalen. Dat effect was pas weg toen ik een meter van de meter af ging staan.
Keithley heeft een boek over het meten aan de rand van het meetbare en wat daar allemaal bij komt kijken. Bij dit soort waarden wil veel digits op een meter niet zeggen dat die alleen maar door de stroom worden veroorzaakt.
Bij die 1000V SMU horen speciale kabels omdat de lekstroom via de buitenkant van de kabels plus tribo-elektrische effect (wrijving in kabel) een grotere stroom veroorzaakt dan de stroom die de load trekt. En zo heb je ook nog Seebeck, EMI/RFI dus je moet ook guarded meten. Anders zit je naar een mooi getal te kijken waarvan maar een deel door de load wordt getrokken. Vergeet niet dat een stroom meting in een DMM een spanningmeting over een shunt is en als dat een heel lage spanning is dan is er maar weinig nodig om dat te verstoren. Vergeet bij dit soort metingen ook de laatste 2 digits van je meter. Die zijn leuk om te kijken of er een trend is maar absoluut gezien zijn ze "zinloos" (Bij high end meters de laatste digit, bij gewone meters (grofweg 250 euro tot 750 euro)de laatste 2, bij low budget van Ali/bouwmarkt etc alle digits )